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东莞无尘车间中使用的“光散射气浮微粒测定仪”(简称微粒仪)有多种名称,例如光学粒子计数器、气载粒子计数器、离散粒子计数器、尘埃粒子计数器等,国内使用最多的是“尘埃粒子计数器”。其实,称为“尘埃粒子计数器”很不确切,因为“尘埃”一般不包括液体颗粒,而此仪器测得的颗粒数是固体和液体颗粒数的总和。“粒子”一般是指结构固定而微小的单元,例如分子、原子、质子、中子、电子等。此仪器一般测定的是分子的聚合体,也就是较小的“颗粒”,可以称为“微粒”。“计数器”顾名思义是计数的仪器,然而此仪器不仅可以计数,而且可以测定颗粒的大小,因此称为“光散射气浮微粒测定仪”比较合理,其理由如下:
原理是光散射;检测对象时悬浮在气体中的微粒;检测的参数是微粒的尺度和浓度。
光散射气浮微粒测定仪的原理是:光束遇到微粒会产生散射,散射光脉冲的个数对应微粒的个数,散射光脉冲的强度对应微粒的尺度。因此测定散射光脉冲个数就可以知道微粒的个数,测定散射光脉冲的强度就可以知道微粒的尺度,同时测定气体的流量就可以计算出气体中微粒的浓度。
光散射气浮微粒测定仪的结构可以分为气流系统、光学系统、显示系统、电源系统四部分,其组成结构如下:
1)气流系统。包括:流量计,高效过滤器,抽气泵,气体管道等;
2)光学系统。包括:平行光源,散射腔,凹面镜,聚光镜等;
3)显示系统。包括:光电转换器,电子放大器,脉冲分析器等;
4)电源系统。包括:光速电源,抽气泵电源,显示系统电源等
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