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无尘室是对空间内空气中的微粒做到控制,所构造的特殊封闭性建筑。总体来说,无尘室也会对温湿度、气流运动模式、与震动噪音等环境因素做控制。 无尘室对等级的不同,对一定空间内的微尘粒子最大容许量有一定规范,在国际标准中分为ISO-14644,ISO-14644的等级定义。这里所指的微粒尘埃是肉眼无法看见的灰尘及粒子,一般空气清净机无法完全清除之灰尘。 无尘室一般分为电子、精密工业用(ICR);及需控制微生物浓度等制药、食品产业用。
在JIS标准中,无尘室清洁度,分8个等级,通常清洁度是指空气的洁净等级,分为1到8个阶段。在1立方公尺的空气中,粒径0.1微米的灰尘若是在10个以下时为1;百个以下是100=102是等级2;千个以下时是1000=103等级3,以此类推。 21世纪,尖端科技产业的发展,加速了产业结构的变革,无尘室设立的必要性也相对地提高。产品逐渐的小型化和精密化,尘埃和温湿的变化对产品的完成度同样造成极大的危害,导致品质下降,随着产品的高品质要求,环境无尘化的要求也越来越高。因此在无尘室中用防尘材料及产品都显得非常重要。 无尘室属于人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路的级数的快速成长,也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求,在工业上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻碍产品的制作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断地增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如当金属尘粒落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。所以无尘室为集成电路制造必不能少的因素。
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