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无尘车间的净化级别是根据每立方米空气中粒子直径大于规定标准的粒子数量来规定的。并非在这空间里没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的质量上。这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们所见的灰尘是小的微乎其微,不过对于光学构造来讲,哪怕是一点点的灰尘都会有很大的影响,因此在光学构造产品的生产上,无尘是必须的要求。例如每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。设备的维护与保养:1.生产设备的选择和布置与保养, 2.要选用发尘性比较少的生产设备,重点注意活动部分的发尘,3真空泵等容易产生污染物的设备,可以设置在无尘室外面,加装排气管线排气。4.设置给水管线、气体管线和电气系统时,要考虑到容易清洁,不易积累污染物,5.当设备维修时易产生微尘粒子时,维修时避免在室内进行,加隔离栅隔离。6.对于施工或维修时,要告知进出无尘室各项规定,工程师要在旁侧监工,生产用水、气体、药品等都是造成污染的原因,一个配备过滤装置。
无尘车间的清洁打扫要在生产工艺结束后进行,为防止交叉污染,清扫洁净厂房设施均应按产品特点、工序要求、洁净度等级不同分别专用。 清扫工具通常采用集中固定式和便携移动式真空清扫设备。也可采用不掉纤维的材料如丝光毛巾、尼龙布进行擦拭,每天1次以上,工作台及工器具清扫每天一次,10~1000级厂房墙壁、地面清扫,每周一次,1万~10万级每月一次。净化空调系统每年清洗1~2次。
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