无尘室的照明原理是提供可见度，它与空气供应系统和降低污染相协调的正确照明度，是无尘室设计结构中不可或缺的组成部分。无尘室的照明会根据室内的使用，等级的分类和天花板上空气供应的结构而发生改变，照明系统一定要提供良好的能见度，将污染控制把电磁场的产生与洁净度的设计考虑进去。

                对于无尘室的构造来讲，照明灯具的成本不会超过总预算的1%，而照明的能源成本与无尘室的hvac以及制程设备的功率需要相比较可以说是很小的，因此无尘室的照明焦点便变成适当的照明度，与空气供应系统相互协调，同时对安装在该空间内特定的环境与制程的污染降低。很多无尘室的表面具有很高的反射性，大部分的天花板，墙面，地板表面均光鲜亮丽，尽管这样，材料颜色的选择仍在考察中，便于改善使用者的环境。在无尘室的设计结构中，照明系统使用常见的是荧光灯，因其能源效率高，使用寿命长，维护成本低，经常使用到。荧光灯在紫外线光谱内产生一定能量，对于一些无尘室内的制程是有害的，过滤UV可以使用灯罩遮蔽，但是这种遮蔽会转换成可见光至黄色，虽然这种遮蔽仅能降低10%到20%照明度，但由于颜色的偏差，所察觉到的照明度看起来比较少。照明灯内需要安定器来来产生灯泡所需要的启动电压与操作电流，使用在安定器的技术为电磁式和电子式。等某一空间需要过滤器与照明时，可以将嵌入式灯具与hepa空气过滤器合并在一起，这种器具经常使用在小型且已预制好的无尘室内，这种器具为嵌入式，有开放的顶部和一个替代灯罩的巧克力制百叶，同时用于作为照明照明灯具与空气输送模块。为了防止天花板上照明与空气过滤器空间需求的冲突，同时作为泪滴型灯具的变通方式，制造业已发展出模块式的天花板系统，具有内建在格架通道内的整合照明，这些系统允许层流气流不受到影响。污染控制是无尘室设计结构的主要目标，任何带有进入无尘室的潜在污染源要严格清除使其控制在一定范围内，照明灯具要进行污染评估检测。