随着我国超大规模集成电路产业的发展，洁净厂房的建设越来越多，净化级别的不断提高，为了满足洁净厂房洁净等级要求及温湿度要求，现阶段的洁净厂房一般采用华夫板，利用华夫板及回风夹道的循环且通过空调送排风系统来控制洁净厂房级别在需求范围内。本文以长沙创芯华夫板施工实例来介绍华夫板施工工艺。
一 洁净厂房的华夫板特点
该洁净厂房采用定型排列的华夫桶（FRP）平整铺设于底模板上，孔间设置交叉式密肋暗梁，经混凝土浇筑后，形成钢筋混凝土楼板，即华夫板。华夫板上有大量华夫桶，可提供厂房核心区（二层）与辅助层（一层）的联络以及作为洁净空调的通风道。
二 工程概况
长沙创芯6英寸集成电路生产线项目位于长沙经济开发区，该工程总建筑面积为43685.5平方米，芯片生产厂房建筑面积为36752平方米，其中B区为生产厂房FAB区三层，一层为技术下夹层，层高5米；二层为生产层，三层为静压箱层，均为洁净区域。二层楼板采用华夫板，华夫板横跨75.6米，纵跨64.8米，华夫梁250*400mm，板厚400mm，华夫桶直径350mm，按中心间距600mm均匀布置。
三 华夫板施工工艺
施工流程
2、施工准备
2.1 进场前组织现场技术人员、施工人员认真熟悉图纸，编制正确合理的施工方案。
2.2 对现场施工人员进行书面和口头的技术交底。
2.3 华夫模具进场前，需提交相关资料，并组织业主、监理、设计对进场材料进行验收，验收合格后方可施工。
2.4 每一道工序施工前需进行样品试验，并组织业主、监理、设计验收，全部同意后方可继续施工。
3、施工工艺及注意事项
3.1 满堂脚手架搭设
1.满堂架的布置应水平并固定结实。
2.满堂架的跨距和间距应根据实际荷载经设计确定，间距不宜大于1.2m。
3.满堂架立杆底部应有垫块。
3.2 铺设建筑模板
1.华夫板底模安装需新木模板，模板表面平整，平整度≤1mm。
2.模板需水平校正水平，并固定，拼接缝需齐整,安装完毕后进行复测，整体≤1.5mm。3.模板安装完成后，表面要保持清洁。
3.3 弹基准线
1.依照设计图纸，确定基准线，对华夫桶及华夫梁进行定位放线。
2.基准线应准确，保证误差小于2mm。
3.施工过程中注意保护基准线，避免因磨损，产生误差。
3.4 华夫模具底盖安装
依照已定位的基准线，利用350*350*100mm直角木板外边平华夫梁基准线，将底盖顶住直角内侧，并用普通螺丝固定。
3.5 华夫梁安装
1.华夫梁钢筋依据已定位基准线摆放，轴线偏差不大于8mm，钢筋绑扎应牢固。
2.华夫梁钢筋绑扎垂直高度不能高于华夫桶高度。
3.华夫梁电焊接时，应注意火花的防护，焊接完毕后应及时清理焊渣。
4.华夫梁安装完毕后需及时对底板进行清理。
3.6 华夫模具安装及固定
1.华夫桶底圈安装应牢固，不得随意晃动。
2.华夫桶依照底圈进行放置，注意轻拿轻放，放置前需对桶进行检查，变形的桶不能使用。
3.放置桶后注意内壁的清洁保护及桶的防变形保护。
4.华夫桶安装完成后，应及时盖上顶盖。
5.顶盖安装完成后，需用螺杆对底盖与顶盖固定连接。
3.7 华夫模具密封
1.华夫桶安装完成后，应对华夫桶进行密封处理。
2.桶与顶盖的缝隙、顶盖与螺杆的缝隙需密封，可以使用普通透明胶带。
3.8 华夫板混凝土浇筑
1.华夫板厚度为400mm。
2.华夫板浇筑以后浇带为界，一块一块进行浇筑，且浇筑时从一侧向另一侧依次进行浇筑，一次对一块全部浇筑完成。
3.将标高+5.4m设置在柱钢筋上，控制整体平整度；且桶高平板顶高，并已桶顶为浇筑标高控制平整度。
4.混凝土振捣时，振捣是应采用快插慢拔，振捣均匀，使上下层混凝土紧密结合，每次振捣，应振捣至混凝土停止下沉且不再冒气泡并泛出水泥砂浆为止，不宜过振。
3.9 华夫板收光及养护
1.找平采用人工操作，找平分粗平和精平，粗平采用2m刮尺控制标高和管帽刮平，再用木抹子压实，剔除表面骨料；精平采用2m刮尺进行精平。
2.应后续环氧施工要求，表面应收光。本次施工采用磨光机收光，边角采用人工收光。收光应在初凝末开始，收光时应均匀，防止因不均产生高差。
3.混凝土浇筑完成后铺设土工布并对华夫板定期进行浇水养护。
4.浇水养护完成后对华夫板进行成品保护，上满铺木板，以免后续施工对表面损坏。
3.10 模板及满堂脚手架拆除
1.确认混凝土达到设计强度后再施工。
2.拆除时不能损伤或划伤华夫桶表面。
3.清理底模时应彻底，不能有残渣。
4.拆除华夫桶底盖、底圈、螺杆、顶盖。
3.11 华夫板清理
1. 待拆除完成后，清除漏浆部分的残渣和灰迹，清除残渣和灰迹的时候不能损伤华夫板表面。
2.采用干净水清洗华夫板上下表面，将表面的混凝土余浆、污渍清洗干净。
3.对于华夫桶内部，用柔软棉布擦拭干净。
4.对于华夫桶有损坏的情况，严重的需更换处理，轻微的可后续环氧进行修补。
四 总结
华夫板的施工需严格按照规范进行施工，不管是从技术上，还是从质量上需严格把关，并以满足洁净厂房的要求为出发点，最终建造一个合格的洁净厂房。
